流量测试原理图

       流量测试会持续不断的向工件内部充气并且测量通过被测件流向大气的气体流量。在流量测试中, 系统至少会具备一个流量传感器去测量气体流量，并且具备一个压力传感器监测气体压力。

流量变化过程

1.  在充气、稳压和测量阶段，电池阀[V1]打开，气源会持续不断的向工件内部充气并且测量通过被测件流向大气的气体流量。在流量测试中, 系统至少会具备一个流量传感器[F]去测量气体流量，并且具备一个压力传感器[P1]监测气体压力。

充气过程

2.  在结束阶段，电池阀[V1]关闭，测试通道和工件内部内气体流向大气，完成排气。

隔离过程

      流量测试可以配置为检测流过工件的流量是否满足处于程序设置好的*大*小值之间。流量测试常常被用来检查微小管道或低流量设备内部是否被堵塞。

采用流量法的泄露测试

      流量测试也可以用作泄漏测试。如果使用流量法做工件内部的泄漏检测，需要先设定一个*小泄漏率到零，*大的流量值设置为您能接受的*大泄露率。**的泄露率取决于您的产品特性和具体的要求。

      采用流量法进行泄露检测有时候在某些场合是一种非常合适的选择，比如您的产品其容腔小但是可接受的泄露率相对非常高，这样流量泄漏检测法将会比压力法快很多。这是因为流量法对于小产品来说不需要稳定时间，在流量法检测中，典型的泄露值公差对于刚性小容腔产品来说粗略为1sccm，对于大容腔或灵活性的产品可以定为5sccm甚至更大。     

      但是，如果泄露率要求比较小（相对于上面的情况），直压检测法或者压差检测法仍然是泄漏测试的*佳选择。